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English 利用振镜电机和动态轴的组合，实现三维曲面及大幅面的快速扫描，广泛用于较大幅面的激光精密标刻、激光浮雕激光深雕、激光切割、激光焊接等高端加工领域。
利用振镜电机和音圈电机的组合，实现三维曲面及大幅面的快速扫描。
与电脑通信采用TCP/IP通信协议，可实现1台电脑同时控制多台3D振镜系统。
光路设计中考虑了不同幅面的激光聚焦效果，保证在不同工作范围内实现最小激光聚焦光斑，使能量更加集中。
系统集成度高,安装及使用简便。
振镜参数 | ||
| 扫描角度 | Scan Angle (°) | ±10 |
| 位置分辨率 | Position Resolution | 2 23 |
| 重复精度 | Repeatability (µrad) | 1 |
| 最大增益漂移 | Max.Gain Drift (ppm/K) | 8 |
| 最大零位漂移 | Max.Offset Drift(μrad/k) | 15 |
| >8小时长时间漂移 | Long-term drift over 8 hours (mrad) | ≤0.08 |
| 最大位置漂移 | Max.Offset Drift (μrad/K) | 30 |
| 跟随误差 | Tracking Error (ms) | ≤0.70 |
| 增益误差 | Gain Error (mrad) | <5 |
| 零位误差 | Offset Error (mrad) | <5 |
| 波长 | Wavelength(nm) | 1064 |
| 通光孔径 | Aperture Size (mm) | 30 |
| 最大激光功率 | Max. Laser Power CW(W/cm²) | 3000 |
